Прогностическое моделирование дефектов в изделияхмикроэлектроники на основе нейросетевых ансамблей

Раздел находится в стадии актуализации

При управлении автоматизированным производством проблемой является отсутствие эффективных методов обработки данных, учитывающих низкое качество материалов, неправильное соединение компонентов и другие нарушения технологических процессов, а также несовершенство оборудования, его износ и неверные настройки, ошибки в проектировании микросхем и компонентов микроэлектроники. В работе рассмотрены подходы к обработке данных при управлении технологическими процессами, позволяющие учитывать взаимосвязи между различными локальными факторами состояния производства, в том числе приводящими к дефектам выпускаемых изделий. Особое внимание уделено интеллектуальному анализу накопленных данных о состоянии внешней производственной среды, исполнительных узлов и механизмов при возникновении и обнаружении дефекта. Дана математическая модель дефекта с упорядоченным набором его характеристик и их значений. Для обработки данных выходного контроля качества изделий использован ансамбль нейронных сетей, что позволяет строить прогностические модели состояния производства и определять критические факторы, влияющие на глобальные технологические процессы. Приведены критерии для определения степени влияния выявленного фактора на состояние производства. Полученная прогностическая модель позволяет определять стандарты измерения состояния производства и формировать управляющее воздействие для его корректировки.
Шевнина Юлия Сергеевна
Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Хвостик Павел Михайлович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Зайцев Владимир Владимирович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Винокуров Алексей Александрович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Портнов Евгений Михайлович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru